Досліджено ефект впливу адсорбції аміаку на електронні властивості і фотолюмінесценцію зразків поруватого кремнію (ПК). Зразки мають характерну неоднорідність поруватої і хімічної структур вздовж поверхні матеріалу і по його глибині. Обговорюється можливий механізм явищ, що спостерігаються.

Експериментально виявлено ефект появи електрорушійної сили на контактах зразків мікропоруватого кремнію з характерною неоднорідністю параметрів вздовж поверхні матеріалу після адсорбції аміаку та під дією освітлення. Обгрунтовано фізичний механізм явища.

Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + Г582

Рубрики:

Тонкі шари напівпровідників

Поверхневі шари та їх властивості

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Рассмотрена адсорбционная чувствительность (АЧ) полупроводников и приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований физических механизмов АЧ полупроводниковых материалов. Проанализировано влияние поверхностных макро- и наноразмерных кластеров на АЧ данных материалов, освещены особенности миниатюризации полупроводниковых сенсоров (ПС) состава газа и описаны методы улучшения их метрологических характеристик. Обоснована возможность анализа многокомпонентных газов с помощью матриц микроэлектронных ПС.

  Скачати повний текст

Розкрито можливості застосування нового покоління smart (intelligent) сенсорів для сучасних автоматичних систем. Розглянуто питання сучасних нанотехнологій для створення інтелектуальних сенсорів, наведено основні дані про сучасні наносенсори, сучасні цифрові технології обробки сигналів і засобів бездротової передачі даних, про спеціалізовані мікроконтролери. Завдяки використанню в сенсорах вбудованої логіки для виконання контрольно-вимірювальних і комунікативних функцій автоматичних пристроїв, вони перетворилися на автономні інтелектуальні прилади автоматики. Надано відомості про системи машинного зору, створення роботів, роботизовані виробництва. Увагу зосереджено на модернізації вимірювально-інформаційних систем автоматизації за рахунок масштабної сенсоризації виробництва.